Veeco获针对SGL初步禁令，中微半导体将受影响

据LED inside报道，11月2日，有机金属化学汽相沉积系统（MOCVD）设备大厂美国维易科（Veeco）宣布，美国纽约东区地方法院同意了Veeco公司针对SGL Carbon，LLC（SGL）的一项初步禁令请求，该公司是中微半导体设备有限公司（AMEC）的晶圆承载器供应商。据统计，目前国内前三大LED芯片厂商今年采购的机台里，Veeco和中微半导体各占一半。业内人士评论称，此次禁令可能会让中微损失不少。

该禁令禁止SGL出售供采用了Veeco专利技术的无基座金属有机化学气相沉积系统（MOCVD）使用的晶圆承载器，包括专为AMEC MOCVD系统设计的晶圆承载器。

Veeco公司董事长兼首席执行官John R. Peeler说：“这项裁决肯定了Veeco知识产权及其全球专利组合的实力。Veeco狠抓知识产权工作，并坚决维护其在研发方面的重大投资，包括其在美国，欧洲和亚洲的专利，特别是在中国。”

上述裁决立即生效，禁止SGL在未得到Veeco明确授权的情况下出货采用了Veeco专利技术的晶圆承载器。这也意味着禁止SGL提供用于所有AMEC MOCVD系统的晶圆承载器。

法院还裁定，尽管SGL有相反的论点，Veeco公司有关“无基座MOCVD反应堆使用的Veeco晶圆载体专利受到SGL的侵犯且该专利有效”的声称得到认同的可能性很大。SGL曾经辩称，其晶圆承载器是基于AMEC的规格。这项裁决显示，AMEC不尊重Veeco的知识产权。

在专利案件中，初步禁令是很罕见的，因为在陪审团对专利侵权作出判决之前颁布禁售令有非常严格的法律要求。因此，这一裁决显示了SGL和AMEC侵犯Veeco知识产权的明确性质。

Veeco于2017年4月12日在纽约东区的联邦法院对SGL Carbon，LLC和SGL Carbon SE展开了专利侵权诉讼。SGL生产用于无基座MOCVD系统的晶圆承载器。除了临时禁令之外，Veeco正在寻求永久性禁令以及经济赔偿等。

此外，Veeco公司11月1日宣布和ALLOS Semiconductors（ALLOS）达成了一项战略举措，展示了200mm硅基氮化镓晶圆用于蓝/绿光micro-LED 的生产。维易科和ALLOS合作将其专有外延技术转移到 Propel单晶圆MOCVD系统，从而在现有的硅生产线上实现生产micro-LED。